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本发明涉及平面电极结构半球谐振陀螺精密装配装置及方法，其通过光谱共聚焦传感器获取谐振子与基座电极之间的间隙，通过四个方向的间隙的数值，通过多自由度定位平台实现间隙的调整；通过差分式电容检测装置获得振子与电极基座分别在X轴和Y轴方向的径向位置...
该专利属于中国船舶重工集团公司第七0七研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国船舶重工集团公司第七0七研究所授权不得商用。

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