下载体声波谐振器和滤波器的技术资料

文档序号:31494009

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一种体声波谐振器和滤波器,涉及谐振器技术领域。该体声波谐振器包括具有空腔的衬底和依次设置于衬底上的底电极、压电层和顶电极;底电极、压电层和顶电极分别在衬底上的正投影的重合区域形成谐振区域;在谐振区域内,底电极和顶电极分别在衬底上的正投影的轮...
该专利属于武汉敏声新技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉敏声新技术有限公司授权不得商用。

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