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一种保护槽型等离子体电极的方法，其特征是：控制ＦＰＣ／ＣＯＦ对位标志与电极引出端介质层之间的距离，并使介质层下端与对位标志间的关系满足下列条件：设ＡＣＦ溢胶的尺寸为ａ，ＦＰＣ／ＣＯＦ上端与对位标志间的距离为ｂ，对位标志与介质层之间的距离为ｃ...
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