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一种晶圆缺陷检测方法，涉及晶圆测试领域。该方法的过程为：S1：采集晶圆的图像，对所述图像进行图像处理，获得平均灰度值，若平均灰度值落入平均灰度值阈值区间范围内，则进入S2；否则重新采集晶圆图像，重复S1；S2：对图像采用RowMask卷积核...
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