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本发明公开了一种六氟化硫气体回收及提纯方法，它包括：对粗六氟化硫尾气进行初步净化，得到第一中间产物；对第一中间产物中的六氟化硫进行冷凝、液化，液气分离，分别得到第二中间产物和第一次高浓度废气；对第二中间产物中的六氟化硫精馏纯化，分别得到高纯...
该专利属于上海都茂爱净化气有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海都茂爱净化气有限公司授权不得商用。

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