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本发明提供了一种优异的TOPCon电池磷扩散工艺，采用高温对非晶硅层进行晶化，再渐续扩散推进的方式，即在扩散前利用延长升温、恒温过程时间对非晶硅层进行晶化，降温后再进行第一次扩散+恒温推进，第二次扩散+降温推进，最后带氧退火的方式，使用该方...
该专利属于普乐新能源科技（徐州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过普乐新能源科技（徐州）有限公司授权不得商用。

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