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沿离子注入的轴的入射角的测量值通过利用正和负狭缝结构（１０４，１０６）获得。正狭缝结构具有入口开口（１２０）、出口开口（１２２）、以及在正方向上的具有选择的角度范围的离子束的获得部分之间的狭缝轮廓。负狭缝结构具有入口开口（１２１）、出口开口...
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