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目的在于得到能够以高的均匀性进行温度调整的调温单元，调温单元(1)具有从外部导入热介质的热介质导入口(2)、供来自热介质导入口(2)的热介质通过的调温机构(3)以及从调温机构(3)向外部排出热介质的热介质排出口(4)，调温机构(3)具备金属...
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