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本实用新型提供了一种压力传感器,包括玻璃底座和位于所述玻璃底座上的硅应变膜片,该玻璃底座的一面设有凹陷空腔,该硅应变膜片包括位于正面的绝缘介质层和绝缘介质层覆盖的硅衬底;所述硅应变膜片的正面朝向所述空腔处设有鱼骨形的十字梁膜件,所述十字梁膜...该专利属于深圳市美思先端电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市美思先端电子有限公司授权不得商用。
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本实用新型提供了一种压力传感器,包括玻璃底座和位于所述玻璃底座上的硅应变膜片,该玻璃底座的一面设有凹陷空腔,该硅应变膜片包括位于正面的绝缘介质层和绝缘介质层覆盖的硅衬底;所述硅应变膜片的正面朝向所述空腔处设有鱼骨形的十字梁膜件,所述十字梁膜...