下载风扇过滤器单元和HEPA过滤器的性能测量方法的技术资料

文档序号:31457015

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本发明提供一种风扇过滤器单元,其能够容易且快速地在多个点测量HEPA过滤器的性能。其具有第一HEPA过滤器、第二HEPA过滤器和设置在它们之间的排气部,第一HEPA过滤器、第二HEPA过滤器和排气部利用壳体一体化。过滤器和排气部利用壳体一体...
该专利属于株式会社日立产机系统所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社日立产机系统授权不得商用。

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