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本实用新型涉及一种单晶硅生产用单晶炉，包括炉体，所述炉体内设有坩埚组件、加热组件和保温组件，所述保温组件包括内部保温筒、外部保温筒和底部保温层，所述外部保温筒置于所述炉体的内侧壁且该外部保温筒套设于所述内部保温筒，所述底部保温层位于炉体的底...
该专利属于美尔森先进石墨（昆山）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过美尔森先进石墨（昆山）有限公司授权不得商用。

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