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本发明涉及具有改进的关态电压控制的ＭＥＭＳ开关。提供了一种ＭＥＭＳ开关（２０，３０，４０），其包括衬底（２８）、耦合到该衬底（２８）并且具有第一侧部和第二侧部的可动执行器（２２，３２，１３２）、第一固定电极（２４）和第二固定电极（２７，３７...
该专利属于通用电气公司所有，仅供学习研究参考，未经过通用电气公司授权不得商用。

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