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一种椭偏测量初始入射角校准装置制造方法及图纸
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下载一种椭偏测量初始入射角校准装置的技术资料
文档序号:31430771
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本实用新型公开了一种椭偏测量初始入射角校准装置,包括平移装置、第一俯仰调节装置、第二俯仰调节装置和中间调节装置。平移装置包括平移平台、CCD相机和远心镜头,远心镜头可拆卸式安装于CCD相机上,CCD相机在平移平台上平移;第一俯仰调节装置包括...
该专利属于中国计量科学研究院所有,仅供学习研究参考,未经过中国计量科学研究院授权不得商用。
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