下载一种具有碳化硅涂层的石墨坩埚的技术资料

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本实用新型涉及石墨坩埚技术领域,尤其为一种具有碳化硅涂层的石墨坩埚,包括石墨坩埚,所述石墨坩埚外侧设有保温罩,所述石墨坩埚内侧设有防护层,所述保温罩右侧顶端固定连接有固定块,所述固定块内侧滑动连接有滑块,所述滑块内侧左端固定连接有第一弹簧,...
该专利属于北京新巨光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京新巨光电技术有限公司授权不得商用。

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