下载检测装置的技术资料

文档序号:31422311

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本申请公开了一种检测装置,包括用于承接待检测工件的承载台,用于驱动承载台和压台相对运动抵压驱动机构,用于检测工件的检测机构,以及用于驱动检测机构和承载台相对运动检测驱动机构;抵压驱动机构处于第一状态时,压台远离承载台,以便于工件在承载台上上...
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