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本实用新型提供了一种硅片倒角用砂轮驱动结构，包括主轴机构以及砂轮机构；主轴机构包括轴套组件以及转轴组件，转轴组件可相对轴套组件进行转动，主轴机构还包括同轴密封盖设于轴套组件顶端且由转轴组件带动同步转动的密封端盖；本实用新型通过改进主轴密封方...
该专利属于浙江中晶科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江中晶科技股份有限公司授权不得商用。

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