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本实用新型公开了一种微机电集成化精巧型压力传感器,属于压力传感器技术领域,该微机电集成化精巧型压力传感器,包括玻璃底座,玻璃底座的顶部设置有压力传感器本体,支撑机构,支撑机构共设置有三组,每组支撑机构均包括立杆、移动盘、支撑弹簧、固定筒和三...该专利属于北京微仪智能科技技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京微仪智能科技技术有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种微机电集成化精巧型压力传感器,属于压力传感器技术领域,该微机电集成化精巧型压力传感器,包括玻璃底座,玻璃底座的顶部设置有压力传感器本体,支撑机构,支撑机构共设置有三组,每组支撑机构均包括立杆、移动盘、支撑弹簧、固定筒和三...