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一种MEMS高精度谐振式压力传感器制造技术
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文档序号:31414311
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本实用新型公开了一种MEMS高精度谐振式压力传感器,包括绝压基座、接头装置、转接装置和第一密封圈,所述绝压基座内置于所述接头装置,所述第一密封圈安装于所述绝压基座并且所述转接装置与所述接头装置螺纹连接。本实用新型公开的一种MEMS高精度谐振...
该专利属于嘉兴恩湃电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过嘉兴恩湃电子有限公司授权不得商用。
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