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本实用新型公开了一种注氦装置，属于密封性检测技术领域，为解决装置整体结构复杂、波纹管密封注氦成本较高的问题而设计。本实用新型包括：腔体、内腔、密封槽、真空管道和注氦机构；所述注氦机构包括上基准板，所述密封槽装配有第一密封圈，所述密封槽和第一...
该专利属于深圳市联赢激光股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市联赢激光股份有限公司授权不得商用。

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