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本公开涉及一种变速率深冷装置和深冷处理设备，变速率深冷装置包括：深冷工件台，用于放置待冷却的工件；第一深冷机构，包括一个或者多个深冷喷头；第二深冷机构，包括一敞口的深冷室，以及设置于所述深冷室内的冷却管道，所述冷却管道用于流经冷却介质以对所...
该专利属于东莞理工学院所有，仅供学习研究参考，未经过东莞理工学院授权不得商用。

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