下载一种扇出封装方法及扇出封装结构的技术资料

文档序号:31381773

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本发明公开了一种扇出封装方法及扇出封装结构,取透光材质的载板,在载板上涂敷复合分离层;在复合分离层上溅射金属层;在金属层上方依次制作再布线金属线路层、线路层金属焊盘;将多个芯片焊接在再布线金属线路层上;通过第一次塑封、解键合去载板、第二次塑...
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