下载启闭转换器及具有该启闭转换器的真空阀启闭系统的技术资料

文档序号:31379265

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本发明公开了一种启闭转换器及具有该启闭转换器的真空阀启闭系统,所述转换器包括中心滑动轴及设于中心滑动轴两侧的气室组,所述中心滑动轴具有能够连接两侧气室组的通道,所述中心滑动轴能够沿其轴向往复运动以实现其两侧气室组的切换导通。本发明提供了一种...
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