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本发明提供一种随机存储器磁旋存储芯片的制备方法,包括完成底电极后,采用金属沉积的方式制备SOT层;采用光刻及刻蚀方式制备凹槽;进行自由层的薄膜沉积及化学机械研磨进行表面平坦化;之后进行磁性遂穿结构的参考层和隔离层的薄膜沉积;顶层电极的制备。...该专利属于苏州伯嘉半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州伯嘉半导体科技有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种随机存储器磁旋存储芯片的制备方法,包括完成底电极后,采用金属沉积的方式制备SOT层;采用光刻及刻蚀方式制备凹槽;进行自由层的薄膜沉积及化学机械研磨进行表面平坦化;之后进行磁性遂穿结构的参考层和隔离层的薄膜沉积;顶层电极的制备。...