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本发明涉及一种含氟化合物、包含其的冷却剂及用途。所述冷却剂，包含本发明所述的含氟化合物，且所述冷却剂的沸程为120～140℃，适合于半导体最高制程温度在70～90℃的制程单元。本申请提供的含氟化合物倾点和沸点合适，流动性、导热系数和比热都适...
该专利属于深圳市盈石科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市盈石科技有限公司授权不得商用。

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