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本发明揭示了一种基于电光调制器及驱动电路的三维集成器件及方法，所述器件包括驱动电路结构、及集成于驱动电路结构上的电光调制器，所述电光调制器包括层叠设置于驱动电路结构上的隔离层、倒脊型波导结构、包层、及行波电极，所述倒脊型波导结构包括氮化硅层...
该专利属于苏州微光电子融合技术研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州微光电子融合技术研究院有限公司授权不得商用。

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