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氧化镓晶体生长方法及生长氧化镓晶体的组合坩埚技术
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文档序号:31316101
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本发明提供了一种氧化镓晶体生长方法及生长氧化镓晶体的组合坩埚,涉及氧化镓晶体生长的技术领域,通过采用组合坩埚来制备氧化镓晶体,使氧化镓熔体和铱金坩埚不直接接触,避免铱元素进入氧化镓熔体从而影响氧化镓晶体质量的问题,通过抽空炉内原本气体并充入...
该专利属于浙江大学杭州国际科创中心所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学杭州国际科创中心授权不得商用。
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