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电路图案形成片、电路图案制造装置、电路图案制造方法及电路图案制造程序制造方法及图纸
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文档序号:31308266
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通过在不使用其上形成有电路图案的光掩模的情况下使板上的电路图案曝光来快速产生或改变电路图案。提供了一种电路图案制造装置,该电路图案制造装置包括:形成单元,该形成单元通过用光束照射包括绝缘片基材层和混合物层的电路图案形成片来形成电路图案,其中...
该专利属于康达智株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过康达智株式会社授权不得商用。
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