下载一种硅基异质结电池的退火设备及退火方法的技术资料

文档序号:31307701

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本发明公开了一种硅基异质结电池的退火设备及退火方法,所述硅基异质结电池包括非晶硅层、透明导电膜层和电极栅线,所述退火设备包括加热腔室;加热光源,在所述加热腔室外的一相对侧设置有若干个;其中,所述加热光源包括长波激光源和短波激光源,所述长波激...
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