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背接触型太阳能电池单元的制造方法技术
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文档序号:31307091
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提供背接触型太阳能电池单元的制造方法,能够以比现有制造方法少的工序数实施。本发明是背接触型太阳能电池单元的制造方法,依次有:在结晶硅基板(10)背面形成氧化膜(20)的工序(A);在所述氧化膜(20)的暴露面形成硅薄膜层(30A)的工序(B...
该专利属于株式会社爱发科所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社爱发科授权不得商用。
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