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本实用新型适用晶圆盒搬运设备领域，公开一种晶圆盒搬运机器人，包括自动导引车和搬运执行机构，搬运执行机构包括主座体、安装于主座体上的机械臂和与机械臂连接用于夹持晶圆盒的夹持装置，主座体上设有至少一个用于承载晶圆盒的卡槽和至少一个分别用于检测各...
该专利属于深圳优艾智合机器人科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳优艾智合机器人科技有限公司授权不得商用。

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