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本实用新型涉及一种硅片输送装置，包括两条平行布置的输送带、转动部、驱动部、承载部及输送带张紧机构；其中：两条输送带均采用弹性皮带，并且均安装在转动部上；转动部安装在承载部上，承载部用于承载整个装置；驱动部安装在承载部上，并且与转动部相连；输...
该专利属于无锡奥特维科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡奥特维科技股份有限公司授权不得商用。

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