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本实用新型涉及离子源技术领域，且公开了一种微型的潘宁离子源装置，离子源外壳的右部外周固定有钢圈，钢圈的下部内部装设有绝缘腔室，绝缘腔室的上下两侧均固定安装有绝缘橡胶，绝缘橡胶的顶部固定安装有引出电压件，钢圈的上部左侧相通连接有进气口，进气口...
该专利属于天津琰罡机械设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津琰罡机械设备有限公司授权不得商用。

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