下载一种具有类真空的PVD沉积用喷涂盒的技术资料

文档序号:31281764

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本实用新型公开了一种具有类真空的PVD沉积用喷涂盒,包括喷涂盒、加热机和安装横杆,所述喷涂盒内壁的底部安装有加热机,所述喷涂盒内壁的一侧通过限位卡板安装有安装横杆,所述喷涂盒内底壁的中部安装有隔温框,所述隔温框内壁的一侧安装有导热板,所述喷...
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