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一种微机械电磁继电器及其制备方法，属于制造技术领域。本发明是基于半导体微细加工工艺在硅片上制作的一种单稳态微机械电磁继电器，它由硅基板（３）、励磁线圈（１３）、继电器触点（１６）、活动衔铁（２１）和硅基板正面的底层磁路（８）、聚酰亚胺绝缘膜...
该专利属于北京工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京工业大学授权不得商用。

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