下载微电子机械装置的技术资料

文档序号:3126969

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本发明涉及一种装置,其包括含有微电子机械元件的开关,该微电子机械元件包括容纳电介质元件的密封腔和密封腔中的导体。设置该导体使得高于预定电压的电压施加到至少一个导体上,引起电介质元件的电离击穿而在导体间提供了导电路径。在另一实施例中,开关包括...
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