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还原基于流体的开关中的氧化物制造技术
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下载还原基于流体的开关中的氧化物的技术资料
文档序号:3126507
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公开了一种基于流体的开关和用于制造该开关的方法。在一个实施例中,开关包括相配合的第一(102)和第二(104)基板,它们在其间限定若干腔(106、108、110)的至少一部分;一个或多个腔中露出的多个电极(612、614、616);一个或多...
该专利属于安捷伦科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过安捷伦科技有限公司授权不得商用。
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