下载一种用于气密性检测的气体充注回收装置的技术资料

文档序号:31260143

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本实用新型涉及一种用于气密性检测的气体充注回收装置,包括预真空单元、充注单元、气体回收单元和尾气处理单元及控制各气路运行和通断的主控电路,待检测工件的出气口和预真空单元的进气口相连,预真空单元的出气口经气体回收单元、充注单元和待检测工件的进...
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