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基于SOI平台的光分束器制造技术
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下载基于SOI平台的光分束器的技术资料
文档序号:31251179
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一种基于SOI平台的光分束器,包括具有包覆层的绝缘体上硅衬底。该光分束器还包括:埋在包覆层中的具有第一宽度和第一长度的第一波导以及埋在包覆层中的具有第二宽度和第二长度的第二波导,该第二波导布置成以一间隙距离紧邻该第一波导。第二宽度与第一宽度...
该专利属于颖飞公司所有,仅供学习研究参考,未经过颖飞公司授权不得商用。
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