下载与采用模板辅助法制备微纳米马达相适用的电镀槽及电镀的技术资料

文档序号:31241796

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本发明涉及一种与采用模板辅助法制备微纳米马达相适用的电镀槽及电镀方法,所述电镀槽包括底座、反应器和弹性密封圈,所述反应器设置在底座上,所述反应器的中部贯穿开设有用于盛放电镀液的腔室,所述腔室的顶部开放,所述弹性密封圈沿周向设置在腔室的底部。...
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