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使用刀刃的双光学位移传感器对准制造技术
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下载使用刀刃的双光学位移传感器对准的技术资料
文档序号:31230861
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本发明公开了一种双光学位移传感器系统(100),该双光学位移传感器系统包括扫描器(190),扫描器包括第一扫描器头(191)和第二扫描器头(192),第一扫描器头包括用于提供具有第一光轴(OA)的第一光束的光学位移传感器(140a),第二扫...
该专利属于霍尼韦尔国际公司所有,仅供学习研究参考,未经过霍尼韦尔国际公司授权不得商用。
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