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本发明提供保持装置、光刻装置以及物品制造方法。保持装置保持物体，其特征在于，保持装置具有：吸附部，用于真空吸附物体；多个生成部，分别与连接于吸附部的多个第1管路对应地设置，生成经由多个第1管路向吸附部供给的真空空气；泵，经由分别与多个生成部...
该专利属于佳能株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过佳能株式会社授权不得商用。

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