温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种凸块高度的检测装置和方法，包括：光源、照明光路、探测光路、线扫相机及高度检测单元，光源发射的检测光束经照明光路入射到带有凸块的晶圆，经反射进入探测光路并在线扫相机上形成光强信号图像，由于检测光束入射到晶圆时在扫描方向的宽度覆盖...
该专利属于上海微电子装备（集团）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备（集团）股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。