下载一种氩气自动回收工艺装置的技术资料

文档序号:31227503

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本发明公开了一种氩气自动回收工艺装置,包括:液氩储罐;液氮储罐;以及氩气回收组件;其分别与所述液氩储罐及所述液氮储罐相连通;其中,所述氩气回收组件包括:氩气换热器,其与所述液氩储罐相连通;氩冷凝器,其分别与所述氩气换热器及所述液氮储罐相连通...
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