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本发明涉及一种带有附加电容极板的可变形薄膜电容器件，属微机电器件领域。该器件的两个电容极板中至少有一个是由附着在可变形弹性薄膜上的附加极板。附加极板的面积可大于薄膜面积且不随薄膜的形变而形变。按照本发明可制成多种体积小，灵敏度高的电容式微机...
该专利属于胡耿所有，仅供学习研究参考，未经过胡耿授权不得商用。

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