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本发明属于金刚石涂层制备技术领域,具体公开了基于磁约束提升热丝CVD沉积金刚石涂层效率的方法,改进型的热丝CVD设备包括依次连接的气源、涂层腔室和真空泵,涂层腔室内设有基台和热丝电极组件,在涂层腔室内设置有磁增强组件,磁增强组件包括磁增强电...该专利属于嘉兴沃尔德金刚石工具有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过嘉兴沃尔德金刚石工具有限公司授权不得商用。
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本发明属于金刚石涂层制备技术领域,具体公开了基于磁约束提升热丝CVD沉积金刚石涂层效率的方法,改进型的热丝CVD设备包括依次连接的气源、涂层腔室和真空泵,涂层腔室内设有基台和热丝电极组件,在涂层腔室内设置有磁增强组件,磁增强组件包括磁增强电...