下载一种增大单晶硅棒纵向温度梯度的装置的技术资料

文档序号:31136635

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本实用新型公开了一种增大单晶硅棒纵向温度梯度的装置,包括自外向内依次套设的热屏外导、真空内导以及水冷屏;所述热屏外导的底部中心设有陶瓷支撑环,所述的真空内导设置在陶瓷支撑环的上方;所述的水冷屏卡合在真空内导的内壁;热屏外导与真空内导之间形成...
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