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本实用新型公开了一种高纯气体管道阀，包括外壳和柜体，包括阀体、膜片、阀座和阀盖，所述阀座嵌合于阀盖的内部且衔接于阀体的阀口上，所述阀体的阀口与阀座之间设有联合螺母，所述膜片衔接于阀座与阀体的阀口之间，所述膜片上衔接有膜片压块，所述阀盖内部设...
该专利属于科哲（上海）阀门有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过科哲（上海）阀门有限公司授权不得商用。

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