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本实用新型涉及半导体技术领域，且公开了一种外延炉生产用洗气装置，包括炉体，所述炉体的外壁固定连接有废气管，所述废气管的一端固定连接有连接块，所述连接块的顶部开设有螺纹槽。该外延炉生产用洗气装置，达到了该洗气装置净化效果好的目的，从而解决了一...
该专利属于四川雅吉芯电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过四川雅吉芯电子科技有限公司授权不得商用。

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