下载高纯碳化硅源粉制备方法的技术资料

文档序号:31091396

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本申请公开了一种高纯碳化硅源粉制备方法,包括:高纯碳粉提纯步骤:在抽真空环境下,将高纯碳粉在石墨坩埚中进行高温煅烧,煅烧完成后,停止加热,通入保护气体进行降温,得到提纯后的碳粉;高纯硅熔融步骤:将高纯硅放置在含有保护气体氛围的石英坩埚内部进...
该专利属于浙江大学杭州国际科创中心所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学杭州国际科创中心授权不得商用。

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