下载一种原子层数可控的二硫化钼薄膜及其制备方法的技术资料

文档序号:31089180

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种原子层数可控的二硫化钼薄膜及其制备方法,包括基片和抑制二次电子发射层;抑制二次电子发射层设置在基片上;抑制二次电子发射层包括若干层单原子二硫化钼层,若干层单原子二硫化钼层叠加设置。利用磁控溅射技术生长厚度可控的二硫化钼薄膜,首次实现了使...
该专利属于西安空间无线电技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过西安空间无线电技术研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。