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一种原子层数可控的二硫化钼薄膜及其制备方法技术
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下载一种原子层数可控的二硫化钼薄膜及其制备方法的技术资料
文档序号:31089180
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一种原子层数可控的二硫化钼薄膜及其制备方法,包括基片和抑制二次电子发射层;抑制二次电子发射层设置在基片上;抑制二次电子发射层包括若干层单原子二硫化钼层,若干层单原子二硫化钼层叠加设置。利用磁控溅射技术生长厚度可控的二硫化钼薄膜,首次实现了使...
该专利属于西安空间无线电技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过西安空间无线电技术研究所授权不得商用。
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